NEW TAIPEI CITY, Taiwan – 18. August 2026 – Der taiwanesische Hersteller industrieller Trocknungs- und Wärmebehandlungsanlagen WEISUN Industrial Co., Ltd. hat seinen AQWOL-5S Smart Clean Room and Inert Gas Oven um eine dedizierte Konfiguration für 310 × 310 mm große Panels erweitert. Sie richtet sich an OSAT-Dienstleister und Substrathersteller mit Fan-out-Panel-Level-Packaging-Linien (FOPLP). Die Kammer ist auf ein einziges Panelformat ausgelegt, während die Standardkammer Panels bis 700 × 700 mm aufnimmt.

Verzug und Ausrichtungsfehler nehmen mit der Panelfläche zu. Sie entstehen beim Aushärten und Tempern. Die Ofentechnik bestimmt damit unmittelbar die Ausbeute in der Panel-Level-Fertigung.

Kammer auf ein Panelformat ausgelegt

Die 310-mm-Konfiguration fasst 25 Panels je Kassette in einer auf dieses Format ausgelegten Kammer. Die Prozessregelung ist identisch mit der Standardkonfiguration. Die Luftführung der neuen Kammer erfolgt über acht separat geregelte Luftzonen gegenüber 28 Zonen bei der größeren Kammer. Die Temperaturverteilung ist mit ±3 °C spezifiziert. Ein kleinerer Nutzraum benötigt weniger Spülgas. Zugleich muss weniger thermische Masse stabilisiert werden.

Unter 50 ppm Sauerstoff für PI-, BCB- und PBO-Aushärtung

Der Ofen arbeitet von Raumtemperatur bis 200 °C in Reinraumklasse 100 (entspricht ISO 5) und hält die Sauerstoffkonzentration in der Kammer unter 50 ppm, um eine Oxidation des Substrats während der Wärmebehandlung zu verhindern. Die Standardkonfiguration hält die Temperaturverteilung innerhalb von ±1,5 %. Zur Kühlung stehen Luftkühlung mit N2 oder CDA sowie Wasserkühlung zur Verfügung, optional ergänzt um eine Schnellluftkühlung.

Die Standardkonfiguration nimmt Stahl-Carrier mit Abmessungen von bis zu 700 × 700 mm bei einer Dicke von 4 mm und einem Gewicht von 15 kg pro Blatt auf. Die Glaspanelformate reichen von 310 × 310 mm in der 25-Slot-Kassette bis 700 × 700 mm auf 12 Einschubebenen.

Machine-Learning-Überwachung W-AIMS

Der Ofen ist optional mit WEISUNs eigener Steuerungs- und Überwachungssoftware W-AIMS erhältlich. Diese bewertet den Zustand der Luftführung anhand des Differenzdrucks am HEPA-Filter, der Dichtheit der Kammer, des Verhaltens der Luftzonen und der Lüftungseffizienz, die gegen konfigurierbare Grenzwerte gemessen wird. Wartungsempfehlungen werden nach Schweregrad geordnet ausgegeben. Dahinter stehen Machine-Learning-Modelle, die vor der Auslieferung trainiert und anschließend beim Kunden an die tatsächlichen Prozessparameter angepasst werden. Diese vier Teilsysteme bestimmen die erreichbare Sauerstoffkonzentration, Reinraumklasse und Temperaturverteilung.

SEMI E187 Cybersicherheit nachgewiesen

WEISUN hat Ende 2024 den Konformitätsnachweis nach SEMI E187 erbracht, der Spezifikation für Cybersicherheit von Anlagen in der Halbleiterfertigung. Das Unternehmen ist nach ISO 9001 und ISO 27001 zertifiziert, Entwicklung und Fertigung erfolgen in Taiwan. Taiwan hat weltweit den größten Anteil an der Fertigungskapazität für Advanced-Packaging-Substrate.

Anbindung über SECS/GEM und CIM

Die Kommunikation erfolgt über CIM, Ethernet und SECS/GEM sowie PCB ECI. Die Beladung und Entladung kann manuell oder automatisiert über AMR-Roboter oder Förderband-Roboter erfolgen. Der Produktionsstatus, sowie die Temperatur und die Sauerstoffkonzentration lassen sich aus der Ferne abrufen. Prozesshistorie und Rückverfolgbarkeit werden protokolliert.

Automation Taipei, Stand L426

WEISUN zeigt beide Konfigurationen vom 19. bis 22. August 2026 auf der Automation Taipei in der Nangang Exhibition Hall 1.

Auftragsbezogene Fertigung

Der AQWOL-5S wird in beiden Konfigurationen auftragsbezogen gefertigt. WEISUN vertreibt direkt sowie über autorisierte Vertriebspartner. Derzeit das Unternehmen in China und Südostasien vertreten.

Spezifikationen und Vertriebsanfragen: https://www.wei-sun-oven.com/product_d.php?lang=en&tb=2&id=992